光刻材料及服务

辅助光刻材料

 
 
 

支持全光刻解决方案的增强化学

北京PK赛车网站的根基深深植根于其已经过生产验证的辅助光刻产品生产线. 从有机和无机显影剂到一整套去除剂, 脱衣舞娘, 以及边珠溶剂和清洗产品, 我们的配方经得起时间的考验,为客户提供横跨光刻工艺光谱的完整解决方案.

北京PK赛车网站的全球制造和支持足迹使得这些低成本的解决方案很容易获得.  

 
 
 
  • 我们的开发人员的设计是特定于应用程序,以适应客户的偏好.选择我们的金属离子轴承, 有机和金属离子无无机显影剂,在各种配方,包括:

    • TMAH-based
    • Non-TMAH
    • Surfactant-aided
    • 钠基
    • 低泡
    • KoH-based
    • 预混合配方提供易用性和额外的安全效益
    • 也可以集中形式节省成本
  • 过滤和加工,以确保最高纯度的溶剂, 我们的去除剂和剥离剂在光刻胶沉积之前创造干净的线条. 这导致了低缺陷,即使在先进的技术节点.

    • 散装清除剂可用于浸泡或分批喷淋
    • 蚀刻后的残留物清除剂可用于浸泡,分批喷涂,或单个晶片处理

    北京PK赛车提供一系列配套的化学试剂,作为我们的光阻剂的伙伴, 针对不同的加工条件覆盖多个方面. 这些包括:

    • 氟基蚀刻后除渣剂
    • FSC-M保护晶圆片涂层改善后带材处理
    • 专有的提升层工艺,无需CMP即可实现沟槽金属化
    • Hypersol系列用于RRC或管线清洗

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