先进的大衣

支持今天的关键尺寸的光刻

北京PK赛车网站最先进的涂层产品减少了晶圆成型前后缺陷的发生. 我们独特的配方为您今天的模式挑战提供了新的解决方案, 使您能够达到关键的尺寸,不能通过传统的光刻工艺单独实现. 在不使用极紫外线(EUV)光刻的情况下,可扩展到高级节点.

北京PK赛车网站用于光刻的先进涂层生产线包括:

  • 面漆: 专为正色调光刻胶设计, 我们的正面色调发展表面涂层增加了光刻胶表面的疏水性, 减少缺陷.

  • 全家人™大衣: 用于提高良率, 我们的负面基调, 自旋配方在多个具有不同表面特性的电阻上创建一个均匀的表面. 这些材料允许多个扫描仪调整,就像它是一个单一的抵抗. NTO涂层具有高疏水性和高接触角.

  • 首席技术官™大衣: 这些等离子蚀刻工艺的自旋替代品是一种低成本的方法,通过减少形成在抗蚀剂顶部的桥接缺陷来削减关键尺寸. CTO大衣减少暗场特性中的浮渣,并可用于清洁孤立壕沟中难以去除的抗蚀剂.

  • 产品的家庭:
    • 全家人™5000的大衣
    • 首席技术官™1150的大衣
    • 首席技术官™125的大衣
 
 
 
  • 高级大衣是与光刻胶结合使用的材料, 在光刻步骤之前或之后. 它们的设计是为了防止缺陷和改善光刻过程窗口.  

    • 在刻印前,在光刻胶顶部涂上一层NTO™涂层,形成疏水表面,防止在浸入式光刻过程中形成水滴
    • 作为极紫外光刻的替代品, 可以在ArF光刻后应用CTO™涂层,以减少剩余的光刻胶量,并收缩图案线

光刻材料与服务“,