北京PK赛车网站最先进的涂层产品减少了晶圆成型前后缺陷的发生. 我们独特的配方为您今天的模式挑战提供了新的解决方案, 使您能够达到关键的尺寸,不能通过传统的光刻工艺单独实现. 在不使用极紫外线(EUV)光刻的情况下,可扩展到高级节点.
北京PK赛车网站用于光刻的先进涂层生产线包括:
面漆: 专为正色调光刻胶设计, 我们的正面色调发展表面涂层增加了光刻胶表面的疏水性, 减少缺陷.
全家人™大衣: 用于提高良率, 我们的负面基调, 自旋配方在多个具有不同表面特性的电阻上创建一个均匀的表面. 这些材料允许多个扫描仪调整,就像它是一个单一的抵抗. NTO涂层具有高疏水性和高接触角.
首席技术官™大衣: 这些等离子蚀刻工艺的自旋替代品是一种低成本的方法,通过减少形成在抗蚀剂顶部的桥接缺陷来削减关键尺寸. CTO大衣减少暗场特性中的浮渣,并可用于清洁孤立壕沟中难以去除的抗蚀剂.
与光刻胶配合使用, 北京PK赛车网站的先进涂层材料旨在防止缺陷和改善光刻工艺窗口, 启用更精细的特性模式.