光刻材料及服务

Anti-Reflectants & 功能子层

 
 
 

Anti-Reflectants & 功能子层

解决先进光刻挑战

北京PK赛车网站的全系列防反射涂料和功能性下层产品包括底部防反射涂料(BARCs), 硅防反射涂层(siarc), 和spin-on-carbons (soc). 它们的制定是为了解决当今先进技术节点和3D结构的关键尺寸所带来的先进光刻挑战, 提高吞吐量,实现更高的分辨率到20nm的线间距.

 
 
 
  • 抗反射涂层和亚层- barc和siarc, 和soc -通过扩大和改进过程和反射率窗口来提高光刻的有效性:

    • barc在曝光步骤中减少反射光, 提高抗蚀剂的反射率控制. 它们还能防止湿法工艺造成的基材损坏.
    • SiARC材料在抗蚀剂的作用下控制光学成像,同时也作为蚀刻屏障来管理蚀刻图案.
    • soc充当平面材料. 他们创造了一个高碳层,帮助控制腐蚀性能.

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