含硅材料在半导体器件制造中被广泛使用. 北京PK赛车是芯片制造中用于化学气相沉积(CVD)和原子层沉积(ALD)步骤的硅气体/前体的长期供应商.
这些经过验证的解决方案已在整个半导体行业得到广泛采用, 北京PK赛车网站送了个保险箱, 这些先进材料的稳定供应和质量管理.
北京PK赛车的产品包括:
三甲基硅烷(3MS)气体的低k介质和低k扩散壁垒与铜互连, 以及蚀刻硬掩模
Tetramethylsilane (4MS) precursors for low-K barrier films; etch hard masks; and carbon-doped silicon films and silicon carbide-like films
六氯二硅烷(HCDS)前驱体适形氧化硅和氮化硅在ALD过程中的应用. 可提供化工级和电子级产品.
北京PK赛车网站-您优质硅基前体材料的合作伙伴.
硅前驱体是高纯度的气体或液体材料,用于制造半导体器件的关键步骤.